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专为 AWG 阵列波导光栅器件开发的高精度视觉检测装备。依托高倍显微成像与 AI 图像算法，对 AWG 芯片端面、波导通道开展非接触检测，识别端面划痕、崩边、污渍、波导损伤等外观缺陷，同步完成通道位置、间距等关键几何参数测量，适配高速光模块 AWG 器件量产在线质控，检测数据可留存追溯，支持对接产线 MES 系统。
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1.工装夹具可快速换型，兼容多规格 AWG 芯片检测需求
2.非接触式检测，避免器件二次损伤，支持批量连续检测
3.高分辨率显微成像，精准识别微米级端面损伤与波导瑕疵
4.AI 智能缺陷判别，内置检测判定标准，降低人工判读误差
5.检测结果自动归档，输出检测报表，可对接产线 MES 系统
